Průmyslová brusiva a brusné nástroje Populární věda

Chemická depozice par horkým drátem

 

Chemická depozice z plynné fáze za horka (HFCVD) je proces přípravy diamantových filmů. Jeho hlavním principem je přivedení směsi plynu obsahujícího uhlík a vodíku do komory reakční pece pomocí nízkotlaké depozice par při vysoké teplotě a její rozklad na aktivní skupiny obsahující uhlík a excitované atomy vodíku pomocí horkého drátu (wolframový drát nebo molybdenový drát) při vysoké teplotě, které jsou poté naneseny na substrát za vzniku uhlíkového filmu. (Brusiva a brusné nástroje Průmysl Popular Science)